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      Raith EBL光刻機隔振方案

      Raith EBL光刻機隔振方案

      ARISMD主動隔振系統/主動式減震臺/主動防震臺,模塊化主動隔振系統,可采用填充式安裝方式,適用于大型光刻機、球差透射電子顯微鏡、EBL電子束曝光機.......


      背景:微電子微納米加工應用

      使用單位:Infinroe

      設備型號:Raith EBPG5200 Plus

      隔振方案:ARISMD1000 Pro主動隔振系統/主動式減震臺/主動防震臺



      ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統

      緊湊型模塊化主動隔振系統,能夠抵消影響超高精密設備或工具的振動,多個獨立的隔振器可承受高達4000Kg的大型設備負載,安裝簡易靈活,無需抬高及重新校準。

      主要優勢:

       1. 6自由度隔振

       2. 0.5Hz開始隔振有效增益

       3. 可變阻尼

       4. 內置人工智能功能

       5. 主動隔振頻率范圍可調整

       6. 遠程控制

       7. 內置實時診斷工具(頻譜分析儀、示波器)

       8. 震動模式(可選)

      應用領域:

       1. 電子顯微鏡(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)

       2. 半導體測試設備(光刻機、晶圓測試儀、電子束曝光機、CD_SEM)

       3. 掃描隧道顯微鏡/STM、掃描探針顯微鏡SPM、大型原子力顯微鏡/AFM

       4. X-Ray、CT、MPI

       ......

      規格參數:

      Model/型號ARISMD300 ProARISMD500 Pro
      Dimensions/規格(mm)
      230x230x75
      230x270x75
      230x230x75
      230x270x75
      Load Capacity(Kg)

      100-300 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

      200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

      Actuaotor Force/制動器力
      Vertical = 150N  ; Horizontal = 75N
      Active Isolation Range/主動隔振頻率
      0.5-100Hz
      Architecture/結構
      MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多層隔振結構
      Degrees of Freedom/自由度
      6 degrees
      Vibration Isolation Performance/性能
      ~8db gain on 1Hz 

      ~20db gain on 2Hz

      Setting Time/響應時間
      ≤0.1 sec
      Real-Time Diagnostic Tools
      實時診斷工具
      Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
      Real-Time performance adjustment
      實時性能調整工具
      Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
      Input Voltage/電壓
      AC 80-260V/50-60Hz

        

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